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潔凈室不銹鋼管的施工安裝要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時(shí)間：2022-09-15
(1） 基本要求


電化學(xué)拋光不銹鋼管 (electro polished pipe•EP管）、光亮退火不銹鋼管 (brighe annealing pipe， BA 管），在高純氣體、特種氣休、高純化學(xué)品輸送中的應(yīng)用及特點(diǎn)進(jìn)行了敘述。在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范（GB 51110）中對(duì)BAVEP 不銹鋼管道的安裝有如下要求。

① BA/EP 不銹鋼管的預(yù)制、安裝作業(yè)應(yīng)在潔凈工作小室內(nèi)進(jìn)行。

②作業(yè)人員應(yīng)經(jīng)培訓(xùn)合格后上崗，作業(yè)時(shí)應(yīng)著潔凈工作服、手套。

③ 管子、管件和網(wǎng)門(mén)在預(yù)制、安裝前后或停頓工作時(shí)，應(yīng)以潔凈塑料袋封口，袋破損，應(yīng)及時(shí)檢查、處理。

④切割管子直徑等于或小于 10mm 時(shí)，宜采用割管器；直徑大于 10mm 時(shí)，宜采用專用電鋸。切割后應(yīng)以純度為 99.999％的純氬吹凈管內(nèi)切口的雜物、灰塵，并應(yīng)去除油污。

⑤ BA/EP 管道的連接宜采用卡套連接、法蘭連接或焊接。BA/EP 管的焊接應(yīng)采用自動(dòng)焊，焊接時(shí)管內(nèi)應(yīng)充純度為 99.999％的純氬氣。焊接結(jié)束后應(yīng)繼線充純氬吹掃、冷卻。

⑥ BA/EP 管的焊接應(yīng)正確選擇電極棒（鎢棒）規(guī)格和焊接工藝參數(shù)。焊接前應(yīng)按施工要求做出樣品，并應(yīng)在檢驗(yàn)合格后施焊。當(dāng)改變焊接參數(shù)時(shí)，應(yīng)按施工要求做樣品，并應(yīng)在檢驗(yàn)合格后再進(jìn)行焊接作業(yè)。BA/EP 管材、管件、閥門(mén)組對(duì)時(shí)，應(yīng)做到內(nèi)、外壁平整，對(duì)口錯(cuò)邊不得超過(guò)壁厚的 10%，且不得大于 0.2mm。每焊接完成一個(gè)焊口，均應(yīng)采用不銹鋼刷及時(shí)清除表面氧化層。焊縫形態(tài)應(yīng)均勻，不得有未焊透、未融合、氣孔、咬邊等缺陷。BA/EP 管及管件、閱門(mén)的內(nèi)、外表面應(yīng)無(wú)塵、無(wú)油，表面應(yīng)平整，且不得有破損、氧化現(xiàn)象。BA/EP 管道連接用墊片的材質(zhì)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求或由設(shè)備、附件配帶，安裝前應(yīng)確認(rèn)墊片潔凈無(wú)油、無(wú)污染物。BA/EP 管道的安裝應(yīng)按工程設(shè)計(jì)圖順氣流方向依次進(jìn)行，并應(yīng)連續(xù)充純金吹掃、保護(hù)，管內(nèi)純氬的壓力應(yīng)大于0.15MPa，并應(yīng)直至管路系統(tǒng)安裝結(jié)束。工程實(shí)踐表明，由于BA 不銹鋼管的應(yīng)用在潔凈廠房中日漸增多，因此對(duì)于較大管徑如 DN>150 采用手工氬保護(hù)焊。

（2）Ep管材及附件的選擇

①不銹鋼電化學(xué)拋光管（EP 管）、不銹鋼光亮退火管 （BA管）的特點(diǎn)和在高純氣體、特和氣體輸送中的應(yīng)用。為確保 EP 不銹鋼管的施工安裝質(zhì)量，必須正確選擇 EP 不銹鋼管及其附什、闊門(mén)等。目前國(guó)內(nèi)外用作不銹鋼 EP 管、BA管的材質(zhì)有 sUS304、sUS316、SUS316L, 等，在微電子半導(dǎo)體工業(yè)中常用的 EP 管均為無(wú)縫SUS316L 管，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)，各個(gè)制造廠家生產(chǎn)的 3161 不銹鋼 EP 管的規(guī)格參數(shù)是不同的，與之相適應(yīng)的管道用閥門(mén)/接頭也均不相同，所以在選購(gòu) 3161 不銹鋼 EP 管及其附件、閥門(mén)時(shí)應(yīng)仔細(xì)了解供貨單位提供的技術(shù)資料，并與設(shè)計(jì)方、業(yè)主進(jìn)行討論、協(xié)調(diào)，得到它們的確認(rèn)。

②對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)潔凈廠房來(lái)說(shuō)，十分重要的是控制 EP管的內(nèi)表面粗糙度，而不是外觀光亮。不銹鋼管的拋光方法，常用的有電化學(xué)拋光、特殊研磨拋光、亞電化學(xué)拋光、光亮退火地光、羽布拋光等。采用羽布拋光的不銹鋼管內(nèi)外表面看似很“亮”，但其內(nèi)表粗糙度卻不能滿足要求，只能用于裝飾用不銹鋼管

③與 EP管配用的閥門(mén)應(yīng)按設(shè)計(jì)要求訂購(gòu)，一般與 EP管配用的閥門(mén)為材質(zhì)相當(dāng)?shù)母裟ぞW(wǎng)、波紋管網(wǎng)；選購(gòu)時(shí)應(yīng)與所選用不銹鋼 EP 管的規(guī)格尺寸相符，否則將影響連接質(zhì)量。

④316L不銹鋼 EP管的連接一般采用焊接或 VCR 接頭連接時(shí)，也同樣應(yīng)認(rèn)真檢查核實(shí)是否與 EP 管材的規(guī)格尺寸相符，訂購(gòu)時(shí)應(yīng)配全 VCR 接頭的全部零部件（包括墊片、管接頭等)。對(duì)于不銹鋼 EP 管用網(wǎng)門(mén)、附件應(yīng)選用滿足 EP 管潔凈要求的產(chǎn)品，并在產(chǎn)品檢驗(yàn)單（合格證書(shū)） 明確標(biāo)明

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