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潔凈室內(nèi)根據(jù)氣流組織和各種管線的敷設(shè)以及凈化空調(diào)系統(tǒng)送回風(fēng)口、照明燈具、報(bào)警探測(cè)器等的布置要求,通常設(shè)置在上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或技術(shù)豎井內(nèi)等。潔凈室的電氣管線宜數(shù)設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),宜采用低煙、無(wú)鹵型電纜,穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷,電氣管線管口及安裝在墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。在潔凈室內(nèi)的上部配電方式:低壓輸配電線路一般采用兩種方式,即電纜橋架敷設(shè)至配電箱、配電箱至用電設(shè)備的配電方式;或封閉式母線槽十插接箱(插孔不用時(shí)封堵),由插接箱至生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)線的電控箱。后一種配電方式只用于潔凈度要求不高的電子、通信、電工器件及其整機(jī)廠房中,它可為生產(chǎn)產(chǎn)品多變,生產(chǎn)流水線更新變動(dòng),生產(chǎn)設(shè)備移位、增減等帶來(lái)極大方便,不需要對(duì)車(chē)間配電設(shè)備、千線做改造,只要將母線插接箱移位或利用備用插接箱引出電源線纜即可
潔凈廠房上技術(shù)夾層配線:在潔凈室上部設(shè)有技術(shù)夾層或潔凈室上部設(shè)有吊頂時(shí)應(yīng)用。吊頂可分為鋼筋混凝土夾層和金屬壁板等結(jié)構(gòu)形式,潔凈廠房普遍采用金屬壁板型吊頂。在潔凈廠房上技術(shù)夾層的配線方式同上述的配電方式?jīng)]有多大差異,但要強(qiáng)調(diào)的是電線、電纜管線穿過(guò)吊頂處時(shí)應(yīng)進(jìn)行密封處理,防止吊頂內(nèi)灰塵和細(xì)菌等進(jìn)人潔凈室,并維持潔凈室的正(負(fù))壓。對(duì)于只設(shè)有上技術(shù)夾層的非單向流潔凈室的上夾層,通常敷設(shè)有空調(diào)通風(fēng)管道、氣體動(dòng)力管道、給水管道、電氣和通信強(qiáng)弱電管線及橋架、母線等,常常管道縱橫交錯(cuò),十分復(fù)雜,設(shè)計(jì)時(shí)需進(jìn)行綜合規(guī)劃,制定 “交通規(guī)則”,畫(huà)出管道綜合剖面圖,使各種管道布置井然有序,方便施工維修。在通常情況下,強(qiáng)電電纜橋架要避讓空調(diào)風(fēng)管,其他管線要避讓封閉式母線。潔凈室吊頂上的夾層較高時(shí)(如2m及以上),吊頂內(nèi)須設(shè)照明和維修插座,按規(guī)范規(guī)定還須設(shè)置火災(zāi)報(bào)警探測(cè)器等。
在潔凈廠房的下技術(shù)夾層配線:近年來(lái)大規(guī)模集成電路芯片制造、液晶顯示器面板制造用潔凈廠房,通常采用多層布置的多層潔凈廠房,在潔凈生產(chǎn)層的上部、下部設(shè)置上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層,其層高均在 4.0m以上,通常將下技術(shù)夾層作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的回風(fēng)靜壓室,根據(jù)工程設(shè)計(jì)需要,電氣管線、電纜橋架和封閉式母線可以敷設(shè)在回風(fēng)靜壓室內(nèi)。低壓配電方式與前述方式?jīng)]有多大差異,只是回風(fēng)靜壓室是凈化系統(tǒng)的組成部分,敷設(shè)在靜壓室內(nèi)的管線、電纜、母線安裝敷設(shè)前要事先進(jìn)行清潔處理,并便于日常清潔。下技術(shù)夾層電氣配線方式送電至潔凈室的用電設(shè)備,輸送距離短,潔凈室內(nèi)電氣管線少或沒(méi)有明敷管線,對(duì)提高潔凈度有益。
多層潔凈廠房的潔凈室下夾層和上下層電氣配線在采用隧道式潔凈室的潔凈廠房?jī)?nèi)或設(shè)有技術(shù)夾道、技術(shù)豎井的潔凈廠房?jī)?nèi),由于通道式潔凈室布置時(shí)設(shè)有潔凈生產(chǎn)區(qū)和輔助設(shè)備區(qū),并在輔助設(shè)備區(qū)內(nèi)設(shè)置真空泵、控制箱(柜)等輔助設(shè)備及公用動(dòng)力管線、電氣管線、電纜橋架、封閉式母線和配電箱(柜)大多設(shè)在其中,從輔助設(shè)備可較為方便地將電力線、控制線接至潔凈生產(chǎn)區(qū)的用電設(shè)備;潔凈室設(shè)有技術(shù)夾道或技術(shù)豎井時(shí)一股根據(jù)生產(chǎn)工藝設(shè)各布置狀況可將電氣配線等數(shù)設(shè)在相應(yīng)的技術(shù)夾道、技術(shù)簽井內(nèi),但應(yīng)注意留有必要的安裝、維修用空間,并應(yīng)充分考忠設(shè)在同一技術(shù)夾道或豎井內(nèi)其他管線及其附件的布置和安裝、維修空間.應(yīng)統(tǒng)籌布置、綜合協(xié)調(diào)